在半導(dǎo)體氣路系統(tǒng)中，氣路分支處的氣體分配與凈化往往需要額外設(shè)備配合，不僅增加了系統(tǒng)復(fù)雜度，還可能導(dǎo)致壓力損失與凈化效率下降。深圳恒歌推出的三通接頭過(guò)濾器，將 “三通分配” 與 “高效過(guò)濾” 功能集成一體，為半導(dǎo)體氣路分支場(chǎng)景提供簡(jiǎn)潔、高效的凈化解決方案。

該過(guò)濾器采用三通結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可直接接入氣路分支節(jié)點(diǎn)，在實(shí)現(xiàn)氣體分流的同時(shí)完成凈化處理，無(wú)需額外添加管道與接頭，大幅簡(jiǎn)化了氣路系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，減少了泄漏風(fēng)險(xiǎn)點(diǎn)。其整體 316L 不銹鋼材質(zhì)賦予設(shè)備出色的耐高溫(-28~+482℃)、耐高壓(部分型號(hào)可達(dá) 414bar/6000psig)與耐腐蝕性能，可適配半導(dǎo)體行業(yè)各類工藝氣體，避免材質(zhì)老化影響凈化效果。

在過(guò)濾性能上，三通接頭過(guò)濾器具備超高顆粒攔截率，能精準(zhǔn)捕捉 UHP 超純氣流中的微小雜質(zhì)，確保每一條分支氣路的氣體純度都達(dá)到生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)，從源頭規(guī)避微粒對(duì)半導(dǎo)體元件的污染。同時(shí)，其高通量、低阻力的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，可在高效過(guò)濾的同時(shí)減少氣體流動(dòng)損耗，保障各分支氣路的壓力與流量穩(wěn)定，不影響生產(chǎn)節(jié)拍。

安裝與維護(hù)方面，三通接頭過(guò)濾器設(shè)計(jì)簡(jiǎn)便，無(wú)需焊接，僅需通過(guò)氣路對(duì)接與螺母緊固即可完成安裝，降低了安裝過(guò)程中引入雜質(zhì)的風(fēng)險(xiǎn)。此外，所有設(shè)備均經(jīng)過(guò) 100% 完整性測(cè)試與 100% 氨氣檢漏測(cè)試，出廠品質(zhì)有保障，可直接應(yīng)用于半導(dǎo)體潔凈室的制造、測(cè)試、包裝等環(huán)節(jié)。

對(duì)于需要在氣路分支處實(shí)現(xiàn)高效凈化的半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)而言，三通接頭過(guò)濾器不僅簡(jiǎn)化了系統(tǒng)設(shè)計(jì)，還能以可靠的性能保障各分支氣路的純凈度，是提升生產(chǎn)效率與產(chǎn)品質(zhì)量的理想選擇。