高流量超純氣體擴散器過濾器專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計? ?穩(wěn)壓、穩(wěn)流、規(guī)避湍流

結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性、擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003um。

獨特的全316L不銹鋼結構、不僅確保高效過濾、更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生、對工藝室環(huán)境造成影響、有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。

可定制化設計、靈活適應各類安裝空間。

產(chǎn)品特點

不銹鋼粉末燒結介質、可快速排氣

整體316L不銹鋼結構

減少工藝腔體排氣時的湍流

適用于多種工藝氣體

潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝

100%完整性測試通過

100%氨氣泄露檢測通過、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

防止微粒混入、幫助提高產(chǎn)品合格率可根據(jù)安裝空間進行設計

技術參數(shù)

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